|
|
CSG30
Описание
Высокоразрешающие кремниевые АСМ кантилеверы серии CSG30 предназначены для контактного режима сканирования.
Типичное значение резонансной частоты - 48 кГц (гарантированный диапазон: 26-76 кГц), типичное значение силовой константы - 0.6 Н/м (гарантированный диапазон: 0.13-2 Н/м).
Кантилеверы имеют Al отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Размер чипа; 1.6х3.4х0.5мм.
Особые характеристики
| Серия кантилевера |
Длина балки, L±10мкм |
Ширина балки, W±7мкм |
Толщина балки, T±1мкм |
Резонансная частота, кГц |
Силовая константа, Н/м |
| min |
typical |
max |
min |
typical |
max |
| CSG30 |
225 |
25 |
2 |
26 |
48 |
76 |
0.13 |
0.6 |
2 |
|
