TGZ1

Калибровочная решетка TGZ1 для вертикальной калибровки (высота ступенек  20±2нм) и нелинейных измерений.  



Высота ступеньки - среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ1, сертифицированной в PTB.  Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 10%  от значения, данного в спецификации. 


АСМ изображение решетки TGZ2  (высота ступени 110нм).