sales@tipsnano.com
Контакты
 
TDG01
TDG01

TDG01

TDG01 22 800 руб. +
В корзину

Описание

Калибровочная решетка TDG01 для субмикронной по X/Y калибровки, период 278нм.

Мера периода линейная TDG01 относится к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне 10-9 ÷ 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, сканирующих близкопольных оптических микроскопов и других средств измерений малой длины.

Мера представляет собой совокупность протяженных шаговых структур на поверхности халькогенидного стекла с внешним диаметральным размером 12,5 мм и диаметральным размером рабочей области – 9 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с синусоидальной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МЕРЫ

Наименование

Значение

Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм

0,278

Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры,

не более, мкм

± 0,001

Плотность периодической структуры меры, периодов/мм

3600

Пределы допускаемой относительной погрешности при формировании периодической структуры не более, %

 

0,03

 

Максимальная высота профиля меры не более, нм (не аттестуется)

60

Условия эксплуатации:

а) При работе на воздухе

- температура окружающего воздуха, °С

- относительная влажность, %

- атмосферное давление, Па

б) При работе в вакуумных условиях

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

- температура держателя образца, оС

 

 

20 ± 3

65 ± 15

(100 ±4)·103

 

1·10-4 ÷ 270

20 ± 3

Масса меры должна быть не более, кг

0,01

Габаритный размер меры (Диаметр × Толщина), мм

12.5×2.5

Размер рабочей области меры (Диаметр), мм

9.0


 

успешно добавлен в корзину!

Продолжить покупкиВ корзину