TGQ1

• одновременной калибровки по Z, X. Y;
• латеральной калибровки сканера;
• определения латеральной нелинейности, гистерезиса, крипа.
  
  
  
  Высота ступеньки - среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ1, сертифицированной в PTB.  Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 15%  от значения, данного в спецификации. 

                  АСМ изображение TGQ1 решетки.