|
|
NSA03
Описание
Высокоразрешающие кремниевые АСМ кантилеверы серии NSA03 предназначены для полуконтактного и бесконтактного режимов сканирования. Типичное значение резонансной частоты - 90 кГц (гарантированный диапазон: 47-150 кГц), типичное значение силовой константы - 1.74 Н/м (гарантированный диапазон: 0.35-6.1 Н/м). Кантилеверы имеют Al отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук. Указанные цены включают в себя скидку на объём.
Спецификация основания кантилеверов:
|
Материал
|
Монокристаллический кремний N-типа с объемным сопротивлением 0,003 Омˑсм, легированный фосфором
|
|
Размер основания кристалла, мм
|
1,6х3,4х0,5
|
|
Отражающая сторона консоли
|
Al (алюминий)
|
|
Количество консолей
|
1 прямоугольная
|
|
Доступные зонды
|
С алюминиевым (Al) отражающим покрытием, без отражающего покрытия
|
Спецификация иглы кантилеверов:
|
Форма иглы
|
конусообразная
|
|
Высота иглы H, мкм
|
12 – 15
|
|
Радиус острия иглы, нм
|
Типичный – 7, гарантируемый ≤10
|
|
Смещение основания иглы от свободного края консоли, мкм
|
10 – 15
|
|
Аспектное отношение
|
1,5:1
|
Особые характеристики
| Серия кантилевера |
Длина балки, L±10мкм |
Ширина балки, W±7мкм |
Толщина балки, T±0.75мкм |
Резонансная частота, кГц |
Силовая константа, Н/м |
| min |
typical |
max |
min |
typical |
max |
| NSA03 |
170 |
30 |
1.5 |
47 |
90 |
150 |
0.35 |
1.74 |
6.1 |
|
