TGZ2

Калибровочная решетка TGZ2 для вертикальной калибровки (высота ступенек  110±10нм) и нелинейных измерений.



*Высота ступеньки - среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ2, сертифицированной в PTB.  Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 20%  от значения, данного в спецификации. 


АСМ изображение решетки TGZ2 (высота степеньки110нм).