TGZ4

Калибровочная решетка TGZ4 для вертикальной калибровки (высота ступенек  1517±20нм) и нелинейных измерений.




Высота ступеньки - среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ4, сертифицированной в PTB.  Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 10%  от значения, данного в спецификации. 


АСМ изображение решетки TGZ4 (высота ступеньки 1517нм).