TGSFull

Набор TGSFull состоит из 8 калибровочных решеток: TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGT1, TGQ1, TGG1, TGX1, TDG01.

 Набор решеток TGSFull предназначен для:

• одновременной калибровки СЗМ по  X, Y и Z;
• субмикронной калибровки СЗМ по X или Y ;
•  латеральной и вертикальной калибровки;
•  определения нелинейности сканера, гистерезиса, крипа;
•   определения формы иглы
•  3-D визуализации иглы;
•  определения остроты иглы (аспектное отношение и радиус закругления), степени изношенности и загрязнения иглы.

С подробными спецификациями решеток Вы можете ознакомится по следующим ссылкам:
 
TGZ1 - Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени 20,0±2.0 нм
TGZ2 - Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени  110,0±10 нм
TGZ3 - Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени  520 ± 20 нм
TGG1 - Калибровочная решетка для вертикальной калибровки, определения боковой и вертикальной нелинейности сканера, определения остроты иглы
TGT1 - Калибровочная решетка для определения остроты и характеристик иглы зонда
TGQ1 - Калибровочная решетка для одновременной калибровки по Z, X. Y  со ступеньками высотой 20±2nm
TDG01 - Калибровочная решетка для субмикронной вертикальной калибровки, период 278нм
TGX1 - Калибровочная решетка для определения латеральной нелинейности сканера, крипа, гистерезиса, остроты иглы.