TGS1

Набор калибровочных решеток TGS1 для вертикальной калибровки и нелинейных измерений.  
Диапазон высоты ступенек:
TGZ1 - 20 ± 2 нм
TGZ2 - 110 ± 10 нм
TGZ3 - 520 ± 20 нм




Высота ступеньки - среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решетками TGZ1, TGZ2, TGZ3 сертифицированной в PTB.  Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 10%  от значения, данного в спецификации.