TGZ3

Калибровочная решетка TGZ3 для вертикальной калибровки (высота ступенек  520±20нм) и нелинейных измерений.




Высота ступеньки - среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ3, сертифицированной в PTB.  Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 15%  от значения, данного в спецификации. 


АСМ изображением решетки TGZ3 (высота ступеньки 520нм).