Виброзащитные системы

Компания ТипсНано предлагает виброзащитные системы производства израильской компании K&S, которая на протяжении 20 лет занимается разработкой виброзащитных устройств для микроэлектронного производства и имеет свою оригинальную запатентованную конструкцию.

Принцип работы виброзащитных систем K&S.

Принципиальная разница предлагаемых виброзащитных систем заключаетс в том, что в качестве движушего элемента используются не пьезоэлементы, а семь двигателей на звуковых катушках (voice coil motors). Принцип работы аналогичен обычным динамикам. Обратная связь осуществляется благодаря специальным очень чувствительным датчикам, расположенным рядом с каждым двигателем. Разработка защищена патентом.

Настройка осуществляется[D1] через web-интефейс – виброзащита подключается к компьютеру по ethernet, после чего по IP через браузер можно подключиться к системе и управлять настройками. В web-интерфейсе также есть осциллограф, где можно вывести сигналы с каждого датчика, определить частоту внешних возмущений, а также посмотреть управляющий сигнал, поступающий на каждый двигатель.

Кроме того, в виброзащиты опционально устанавливается шестикоординатный «шейкер», который работает в полосе 1÷2000 Гц. Благодаря такой системе с помощью датчиков, которые также могут быть опционно поставлены, либо с использованием собственных датчиков, можно определить резонансные частоты конструкции.

Настройка виброзащиты.

В отличие от обычных виброзащитных систем, данная система требует минимальной предварительной настройки. Для этих целей приезжает технический специалист и проводит инсталляцию оборудования. Процесс настройки виброзащиты занимает около 30 минут.

Таким образом виброзащиту можно настроить под работу в сложных условиях с очень большими вибрациями, где обычная виброзащитная система не справляется.

Плюсы виброзащиты K&S:

• Уровень подавления вибраций позволяет получение атомарного разрешения

• Возможность настройки под конкретное помещение со сложными для измерений условиями

• Возможность оснащения шестикоординатным «шейкером» для выявления резонансных частот конструкций нового оборудования

• Виброзащита не нагревается в отличие от стандартных систем, которые нагреваются примерно до 40оС при продолжительной работе и могут вызвать температурные дрейфы в АСМ.

 

Линейка оборудования

• Настольные виброзащиты для атомно-силовых микроскопов.
• Модульные напольные виброзащиты под тяжёлые установки, электронные микроскопы и т.д. (устанавливается несколько штук под оборудование весом более тонны).
• Пассивные виброзащиты для форвакуумных насосов