sales@tipsnano.ru Контакты |
|
TGZ1Описание
Калибровочная решетка TGZ1 для вертикальной калибровки (высота ступенек 20±2нм) и нелинейных измерений.
Высота ступеньки - среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ1, сертифицированной в PTB. Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 10% от значения, данного в спецификации. АСМ изображение решетки TGZ2 (высота ступени 110нм). |